一、先进技术解析

（一）旋转式分子筛吸附浓缩 + RTO 技术

• 技术原理

• 吸附浓缩：旋转式分子筛吸附轮是核心部件，其表面的分子筛具有特殊的孔隙结构和吸附性能。电子厂排放的低浓度、大风量废气通过吸附轮时，其中的 VOCs 被分子筛吸附，洁净气体排出。随着吸附轮的缓慢旋转，吸附饱和的区域进入脱附阶段，通过热风等方式使 VOCs 从分子筛上脱附下来，实现浓缩。

• 燃烧处理：浓缩后的高浓度 VOCs 废气被送入蓄热式热力焚烧炉（RTO）。在 RTO 内，废气被加热至 700 - 850℃，VOCs 在此高温下充分燃烧，转化为二氧化碳和水等无害物质。燃烧产生的高温烟气通过蓄热体，将热量传递给蓄热体后排出，蓄热体则将热量储存起来，用于预热下一批进入的废气，极大提高了能源利用效率。

• 适用场景

• 适用于计算机制造、电子真空器件制造、半导体及集成电路制造等电子工业生产工艺废气的治理。这些行业生产过程中排放的废气通常具有低浓度、大风量的特点，旋转式分子筛吸附浓缩 + RTO 技术能够高效应对。

• 对于印刷或涂布工艺产生的无组织废气，收集后先采用吸附技术预浓缩，再经 RTO 治理，可有效实现达标排放。

• 技术优势

• 高去除效率：多室床式或旋转式 RTO 的 VOCs 去除效率通常可达 95% 以上，两室 RTO 的 VOCs 去除效率也能达到 90% 以上，能有效降低电子厂废气中的 VOCs 浓度，满足严格的环保排放标准。

• 节能高效：通过蓄热体对燃烧热量的回收利用，大幅减少了能源消耗。在中大型企业中，还可通过余热回用进一步降低运行费用，实现经济效益与环境效益的双赢。

• 局限性

• 在非连续生产工况下或入口废气浓度水平波动较大时，该技术治理废气的能耗会增加。因为吸附浓缩和燃烧过程需要稳定的废气流量和浓度条件来维持高效运行，工况不稳定会导致设备频繁调整，增加能源消耗。

（二）减风增浓 + RTO 技术

• 技术原理

• 减风增浓：运用冷凝浓缩、膜分离浓缩等技术手段，对电子厂排放的废气进行处理。通过降低废气风量，同时提高废气中 VOCs 的浓度，使废气更适合后续的 RTO 处理。例如，冷凝浓缩利用不同物质沸点的差异，将废气冷却使 VOCs 冷凝成液体，从而实现分离和浓缩；膜分离浓缩则是利用特殊的膜材料，对废气进行选择性透过，使 VOCs 富集。

• 燃烧处理：与旋转式分子筛吸附浓缩 + RTO 技术中的 RTO 部分原理相同，将增浓后的高浓度 VOCs 废气在 RTO 中高温燃烧，转化为无害物质，并利用蓄热体回收热量。

• 适用场景

• 适用于电子厂等各类企业，尤其对于废气排放量大且浓度较低的情况，减风增浓技术可有效减少废气处理量，降低 RTO 设备的规模和投资成本。

• 技术优势

• 成本降低：减少了废气处理量，降低了设备投资和运行成本。同时，增浓后的废气在 RTO 中燃烧更稳定高效，减少了辅助燃料的消耗。

• 资源回收：在减风增浓过程中，部分有价值的有机溶剂可被回收利用，实现资源的循环利用，进一步提高企业经济效益。

（三）蓄热催化燃烧技术（RCO）

• 技术原理

• 催化燃烧：在催化剂的作用下，废气中的 VOCs 在较低温度（一般 300 - 500℃）下发生氧化反应，生成二氧化碳和水。催化剂能够降低反应的活化能，使反应更容易进行。

• 蓄热回收：增加了蓄热体，废气首先通过蓄热体被预热到一定温度，然后进入催化燃烧室进行反应。燃烧后的高温气体通过另一组蓄热体，将热量传递给蓄热体后排出，蓄热体储存热量用于预热下一次进入的废气，提高能源利用效率。

• 适用场景

• 适用于对温度较为敏感、VOCs 浓度适中的电子厂废气治理，例如一些对温度控制要求较高的电子元器件生产过程中产生的废气。

• 技术优势

• 低温燃烧：相比传统燃烧技术，RCO 在较低温度下进行反应，减少了高温燃烧带来的能源消耗和设备损耗，同时降低了氮氧化物等二次污染物的生成。

• 高效节能：蓄热体的应用使能源得到充分回收利用，运行成本较低，且 VOCs 去除效率高，一般可达 95% 以上。

（四）催化燃烧技术（CO）

• 技术原理

• 废气中的 VOCs 在催化剂表面发生氧化反应，催化剂降低了反应所需的温度，使 VOCs 在相对较低的温度下（一般 200 - 400℃）转化为二氧化碳和水。常见的催化剂有贵金属催化剂（如铂、钯等）和非贵金属催化剂（如过渡金属氧化物等）。

• 适用场景

• 适用于中低浓度的 VOCs 废气治理，对于一些成分相对简单、浓度不是特别高的电子厂废气有较好的处理效果。

• 技术优势

• 能耗较低：相比直接燃烧，催化燃烧在较低温度下进行，减少了燃料消耗，降低了运行成本。

• 设备相对简单：不需要复杂的蓄热装置等，设备占地面积相对较小，投资成本相对较低。

二、有电镀生产工艺企业的废气处理

• 原理：喷淋塔内设置多层喷淋装置，将碱性吸收液（如氢氧化钠溶液）均匀喷洒。硫酸雾等酸性污染物与碱性吸收液发生中和反应，生成盐和水，从而被去除；氰化氢等污染物也能通过与吸收液中的特定成分反应而被吸收。

• 流程：废气从喷淋塔底部进入，自下而上流动，与自上而下喷淋的吸收液充分接触反应。净化后的气体从塔顶排出，达标排入大气。吸收液在塔底收集后，可根据需要进行处理和循环使用。